主要性能指标

加速电压: 0.5~30 kV；

二次电子分辨率: 1.5kV：0.8nm；1 kV：1.1nm；

SEM放大倍数: 20 ~1000000x；

冷冻传输系统、一体化能谱仪和CCD相机；

仪器功能和附件

Regulus 8100是日立冷场发射扫描电镜的全新系列，配备加速电压减速功能，优秀的低加速电压成像能力，1kV分辨率可达1.1nm，高低电压均可满足高分辨的观察。配备电子枪内置加热器，物镜光阑具有自清洁功能，SE与BSE任意比例搭配功能。该仪器配备冷冻传输系统、EDX能谱仪、CCD等附件，能进行生物样品原位观察及EDX能谱分析。扫描电子显微镜实验室还配备有制样设备MC1000离子溅射仪和VFD-30叔丁醇冷冻干燥仪，可以进行生物、材料等样品的扫描电子显微镜制样工作。

仪器使用范围

1.可进行生物样品的高衬度、高效率成像，如植物、动物及材料等样品的表面形貌和结构观察。

2.与冷冻传输系统结合，实现生物样品原位观察，如液体、半液体、以及含水量高的组织、细胞和植物叶片样品的冷冻、断裂后成像观察。

3.与X射线能谱仪结合，进行样品的成分分析工作，如植物叶片、土壤颗粒以及水泥等材料样品的成分分析。