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场发射扫描电子显微镜




主要性能指标

加速电压: 0.5~30 kV;

二次电子分辨率: 1.5kV:0.8nm;1 kV:1.1nm;

SEM放大倍数: 20 ~1000000x;

冷冻传输系统、一体化能谱仪和CCD相机;




仪器功能和附件

Regulus 8100是日立冷场发射扫描电镜的全新系列,配备加速电压减速功能,优秀的低加速电压成像能力,1kV分辨率可达1.1nm,高低电压均可满足高分辨的观察。配备电子枪内置加热器,物镜光阑具有自清洁功能,SE与BSE任意比例搭配功能。该仪器配备冷冻传输系统、EDX能谱仪、CCD等附件,能进行生物样品原位观察及EDX能谱分析。扫描电子显微镜实验室还配备有制样设备MC1000离子溅射仪和VFD-30叔丁醇冷冻干燥仪,可以进行生物、材料等样品的扫描电子显微镜制样工作。



仪器使用范围

1.可进行生物样品的高衬度、高效率成像,如植物、动物及材料等样品的表面形貌和结构观察。

2.与冷冻传输系统结合,实现生物样品原位观察,如液体、半液体、以及含水量高的组织、细胞和植物叶片样品的冷冻、断裂后成像观察。

3.与X射线能谱仪结合,进行样品的成分分析工作,如植物叶片、土壤颗粒以及水泥等材料样品的成分分析。


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